精密无尘车间洁净度检测_洁净无菌车间环境检测_产品威科检测
1、无尘车间洁净度检测时,使用光散射粒子计数器的取样量
关于尘埃粒子计数器检测时的空气取样量,在国标GBJ73-84中规定:对于100级的无尘车间,每次取样量应大于或等于1L,对于1000~10000级的无尘车间,每次取样量应大于或等于0.3L, 对于10000 级的无尘车间,每次取样量应大于或等于0.1L。
对于100 级无尘车间,宜采用大流量粒子计数器进行测试。如果不具备,也应采用每次采样量不小于1L 的粒子计数器。在对无尘室进行洁净度检测时,尽管规定了空气的较小采样量,但在实际工作中,我们应在保证较小采样量前提条件下,根据已有的检测设备,尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。
2、检测点的布置
根据*人民共和国国家标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定:在对无尘车间进行洁净度检测时,检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型无尘车间测点总数应不小于20点,测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在**无尘车间工作区内;非单向流无尘车间按无
尘车间面积小于或等于50m2布置5个测点。
电子行业对无尘车间具体有哪些要求
电子行业对于无尘车间求:无尘车间也叫洁净、洁净室、无尘室,电子工厂生产工类众多,有集成电路生产(分为光掩膜、前道工序、后道工序),平南显示器生产(分为LCD,PDP,TFT,VFD,显像管),硅材料 生产(单晶硅、多晶硅),光纤生产,制卡业,表面贴装(SMT),分离器件生产(功率一、二、三级管,电容、电阻),整机组装生产(机顶盒、数字投影仪、电子数码相机),自控元器件生产(传感器、执行机构)等。
由于生产工艺种类繁多,对洁净度等级要求也不同,高的很高,低的很低;对粒子粒径控制的要求也不同,范围约为0.1~5um;对温湿度控制的要求相对较 高,如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃(精度±0.1~±1℃),相对湿度基数为40%(精度±2~±5℃;正压值要求的梯度级别,随着洁净度的变化而从高到低变化,差值5~10Pa。
电子行业无尘车间的冷负荷比其他行业的无尘车间大很多,单位冷负荷达400~500W/㎡很常见。由于冷负荷大,一般情况下,冬季也需要供冷,这是电子行业的特点。
电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多,且量也大,所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一,排放前要做处理,使排风负荷环保要求。
电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求,并且大宗气体和特种气体种类多,对纯度和洁净度要求高:
1.电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
2.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的较大值:
5.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
6.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。